如果大家关注光刻机的发展历史就会知道，别看现在的荷兰ASML很厉害，但在早期真的只是一个小厂，日本的尼康、佳能比ASML牛很多。当年的尼康、佳能，根本就没有将ASML放在眼里，因为ASML技术不行，市场份额更是毫无可比性，没有逆袭的可能性。转折点是什么呢？当时尼康、佳能们已经研发出了DUV光刻机，采用193nm波长的光源。而在这种DUV光刻机后，尼康、佳能觉得应该进一步缩短光源的波长，实现分辨率的...
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