中芯国际申请半导体结构及其形成方法专利,降低在第二区的栅极层中产生缝隙、空洞等缺陷的概率

金融界
08/09

金融界2025年8月9日消息,国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“半导体结构及其形成方法”的专利,公开号CN120456589A,申请日期为2024年02月。

专利摘要显示,一种半导体结构及其形成方法,半导体结构包括:衬底,衬底包括第一区和第二区,第一区的器件工作电压小于第二区的器件工作电压;鳍部,分立于第一区和第二区的衬底上;隔离层,位于衬底上且围绕鳍部的部分侧壁,被隔离层暴露的鳍部作为有效鳍部,第一区的有效鳍部高度大于第二区的有效鳍部高度;第一栅介质层,位于第二区的有效鳍部上;第二栅介质层,位于第一区的有效鳍部上,第二栅介质层的厚度小于第一栅介质层的厚度;栅极层,横跨有效鳍部且覆盖第一栅介质层和第二栅介质层,栅极层覆盖有效鳍部的部分顶部和部分侧壁。

天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目127次,财产线索方面有商标信息150条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可451个。

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