国家知识产权局信息显示，瑞声开泰科技（武汉）有限公司申请一项名为“悬臂梁、其制造方法及包含该悬臂梁的MEMS器件”的专利，公开号CN120589681A，申请日期为2025年06月。专利摘要显示，本发明涉及悬臂梁制造技术领域，提供了一种悬臂梁、其制造方法及包含该悬臂梁的MEMS器件。该制造方法包括：步骤S1：提供SOI晶圆；步骤S2：刻蚀功能层，直至埋氧层停止刻蚀；步骤S3：在支撑层和/或功能层上...
网页链接国家知识产权局信息显示，瑞声开泰科技（武汉）有限公司申请一项名为“悬臂梁、其制造方法及包含该悬臂梁的MEMS器件”的专利，公开号CN120589681A，申请日期为2025年06月。专利摘要显示，本发明涉及悬臂梁制造技术领域，提供了一种悬臂梁、其制造方法及包含该悬臂梁的MEMS器件。该制造方法包括：步骤S1：提供SOI晶圆；步骤S2：刻蚀功能层，直至埋氧层停止刻蚀；步骤S3：在支撑层和/或功能层上...
网页链接免责声明：投资有风险，本文并非投资建议，以上内容不应被视为任何金融产品的购买或出售要约、建议或邀请，作者或其他用户的任何相关讨论、评论或帖子也不应被视为此类内容。本文仅供一般参考，不考虑您的个人投资目标、财务状况或需求。TTM对信息的准确性和完整性不承担任何责任或保证，投资者应自行研究并在投资前寻求专业建议。