台积电无阻挡层钨塞工艺

AIOT大数据
09/26

近期各大头部晶圆厂都在加快自己的2纳米量产进度,然而真正有把握的还是台积电。据行业传出的消息称,由于竞争对手的良率与产能进度上无法得到保证,台积电准备对2纳米制程芯片进一步涨价。2纳米芯片的难点除了COMS单元要进一步缩小之外,其联接工艺也需要跟着同步收缩。与数据电容存储源根据优化的算法只缩放储能面积,主要是受物理尺寸限制不同,联接工艺基本上是电流制程,其功耗与线路的截面积直接关联,从算法上就无法...

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