台积电,拒绝High-NA!

半导体芯闻
10/22

如果您希望可以时常见面,欢迎标星 收藏哦~来源:内容来自半导体芯闻综合。新的2纳米工艺仍可利用台积电现有的EUV(极紫外光刻)设备实现晶圆的大规模量产,并保持较高的良率。但随着这家台湾半导体巨头推进到更先进的次2纳米节点——即1.4纳米与1纳米(分别代号A14与A10)——制造工艺将面临更多技术瓶颈。理论上,这些问题可以通过采购ASML的最先进High-NA EUV设备来解决,但最新消息称,台积电...

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