截至13:18，中证半导体材料设备主题指数（931743）跌0.67%，权重股中，中微公司跌0.9%，北方华创跌0.0%，沪硅产业涨0.4%，华海清科涨0.4%，南大光电跌0.7%。此外，光力科技涨11.1%，芯碁微装涨2.7%，耐科装备涨2.5%，华海诚科涨2.4%，金宏气体涨2.0%。半导体设备ETF易方达（159558）跟踪中证半导体材料设备主题指数，备受资金青睐，近5日资金净流入超8300...
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