晶合集成获得实用新型专利授权:“一种半导体薄膜沉积设备”

证券之星
06/16

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种半导体薄膜沉积设备”,专利申请号为CN202521427925.4,授权日为2026年6月16日。

专利摘要:本实用新型公开的一种半导体薄膜沉积设备,半导体薄膜沉积设备,包括:反应腔,其内部设置承载台,所述承载台用于承载晶圆;前驱体供气装置,设置于所述反应腔的顶部;喷淋头,设置于所述承载台和所述前驱体供气装置之间;环形遮挡结构,位于所述喷淋头与所述承载台之间,用于遮挡所述晶圆上表面的边缘;惰性气体供气装置,设置于所述承载台的边缘外侧,以向所述晶圆背面边缘处鼓入惰性气体;真空泵,用于抽出所述反应腔内的气体。本实用新型在薄膜沉积的过程中,可改善晶圆表面的温度分布均匀,改善薄膜沉积后的膜层均匀性。

今年以来晶合集成新获得专利授权229个,较去年同期增加了36.31%。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了14.53亿元,同比增13.2%。

通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目645次;财产线索方面有商标信息76条,专利信息1693条,著作权信息12条;此外企业还拥有行政许可27个。

数据来源:天眼查APP

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