全球半导体产业重要供应商德国蔡司(Zeiss)高管称,中国在尖端芯片制造设备的研发方面落后约15年,并指中国的进步很难量化。
蔡司半导体部门负责人Frank Rohmund在彭博电视台表示,中国需要15年才能研发出EUV(极紫外光)光刻机是“合理的假设”。他称,中国数十年来一直在研发这类技术。谈到近期有关中国取得技术进展的报道时,他说,这其实并不令人意外,现在需要观察的是,这些设备的实际能力究竟如何。Frank Rohmund称,“我们仍然遥遥领先。”蔡司是EUV设备所使用光学系统的独家供应商。
在Frank Rohmund作出上述估计之前,瑞银分析师指出,中国距离开发出国产EUV技术可能至少还有10年。
7月底,The Information称,中国厂商开始生产浸没式深紫外(DUV)光刻机。
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