英特爾(INTC)宣佈阿斯麥(ASML)首批高數值孔徑光刻機已投入量產

金吾財訊
2025/02/25

金吾財訊 | 英特爾(INTC)宣佈阿斯麥(ASML)首批高數值孔徑光刻機已投入量產,單季度產出3萬片晶圓(每片可切割數千芯片)。該設備可靠性較前代翻倍,僅需一次曝光及個位數步驟即可完成傳統工藝三次曝光、40步的操作,顯著提升效率。公司正利用該技術推進18A製程(2024年底量產),並規劃用於下一代14A製程,此舉扭轉了此前在極紫外光刻技術應用中的落後局面,重獲半導體制造競爭力。

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