金融界 2025 年 4 月 26 日消息，國家知識產權局信息顯示，蘇州億波達微系統技術有限公司申請一項名為「單軸面外 MEMS 陀螺儀」的專利，公開號 CN119860757A，申請日期為 2025 年 3 月。

專利摘要顯示，本發明涉及一種單軸面外 MEMS 陀螺儀，包括襯底、錨點單元、運動單元以及電極單元，運動單元包括四個驅動框，四個驅動框沿 x 方向和 y 方向陣列布置，驅動框具有沿 x 方向線性運動的自由度，沿 x 方向佈置的兩個驅動框之間設有沿 x 方向佈置的兩個質量塊，質量塊通過第一解耦梁連接沿 x 方向相鄰的驅動框，沿 x 方向佈置的兩個質量塊之間設有檢測框，檢測框具有繞 y 方向擺動的自由度，檢測框通過第二解耦梁連接沿 x 方向相鄰的兩個質量塊，電極單元包括驅動模態激勵電極和敏感模態檢測電極。採用二級解耦的方式實現驅動框運動與檢測框運動相解耦，能夠從結構層面上降低陀螺正交誤差，進一步降低陀螺的零偏指標，為實現高性能單軸面外 MEMS 陀螺儀打下基礎。

天眼查資料顯示，蘇州億波達微系統技術有限公司，成立於2021年，位於蘇州市，是一家以從事科技推廣和應用服務業為主的企業。企業註冊資本2357.1429萬人民幣。通過天眼查大數據分析，蘇州億波達微系統技術有限公司共對外投資了2家企業，參與招投標項目5次，財產線索方面有商標信息7條，專利信息24條，此外企業還擁有行政許可10個。