【上海微系統所衛星激光通信用高精度MEMS快反鏡取得進展】金十數據5月7日訊，中國科學院上海微系統與信息技術研究所傳感器技術全國重點實驗室在集成角度傳感器的高性能MEMS快反鏡研製方面取得重要進展。製備的MEMS快反鏡鏡面尺寸大，封裝體積小，並具備良好的線性度、角分辨率、響應速度、重複定位精度和鏡面動態形變，同時集成了高靈敏度角度傳感器，能夠實現更精確的激光光束閉環控制，在激光衛星通信方面具有巨大的應用潛力。快反鏡在衛星激光通信中承擔着光束的指向、捕獲和跟蹤等重要作用。
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