金融界2025年5月17日消息，國家知識產權局信息顯示，福建金石智能裝備製造有限公司申請一項名爲“一種單體迴轉空間型ALD沉積鍍膜設備”的專利，公開號CN119980195A，申請日期爲2025年3月。

專利摘要顯示，本發明公開了一種單體迴轉空間型ALD沉積鍍膜設備，包括主腔體、左腔門、右腔門，所述左腔門與右腔門通過腔門鉸鏈分別連接到主腔體兩側，左腔門與右腔門均可與主腔體組成獨立的真空反應腔室，左腔門與右腔門上分別設計有多腔室轉架，所述多腔室轉架分成4n個獨立的單面開口區，開口方向朝腔體側壁一側形成獨立腔室，主腔體與左腔門、右腔門組成的真空反應腔室對應多腔室轉架等分爲4n個功能區，按順時針循環對應分別爲第一真空隔離區、前驅體B反應區、第二真空隔離區、前驅體A反應區。採用單工藝腔室配合雙腔門結構，工藝生產同時進行下料前冷卻及上料，設計多個等分的獨立功能分區配合多腔室轉架，提高工藝節拍，減少氣源消耗，降低生產成本。

天眼查資料顯示，福建金石智能裝備製造有限公司，成立於2024年，位於泉州市，是一家以從事專用設備製造業爲主的企業。企業註冊資本4000萬人民幣。通過天眼查大數據分析，福建金石智能裝備製造有限公司專利信息2條，此外企業還擁有行政許可2個。