在荷蘭阿姆斯特丹舉行的2025年技術論壇歐洲場中,臺積電資深副總經理張曉強表示,公司目前暫無爲先進製程導入High NA EUV的計劃。他指出,最新公佈的1.4nm級邏輯製程A14即便未採用High NA EUV圖案化設備,性能提升依然顯著。
在荷蘭阿姆斯特丹舉行的2025年技術論壇歐洲場中,臺積電資深副總經理張曉強表示,公司目前暫無爲先進製程導入High NA EUV的計劃。他指出,最新公佈的1.4nm級邏輯製程A14即便未採用High NA EUV圖案化設備,性能提升依然顯著。
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