台積電再次強調:現在沒必要使用阿斯麥的High-NA EUV光刻設備

芯財富
2025/05/28

晶圓代工龍頭台積電高層主管透露,公司仍在評估何時在未來的製程中,使用ASML的高數值孔徑極紫外光(High-NA EUV)光刻設備。當有人提問台積電是否計劃將High-NA EUV設備,用於即將推出的A14(1.4nm)製程及未來製程的升級時,台積電業務開發、全球業務資深副總經理暨副共同營運長張曉強表示,公司尚未找到令人信服的理由。張曉強表示:A14,我所說的加強提升,在不使用High-NA ...

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