華虹半導體申請最佳曝光焦距差確定方法專利,根據映射關係和圖形間距確定產品兩次曝光工藝最佳曝光焦距差

金融界
05-31

金融界2025年5月31日消息,國家知識產權局信息顯示,華虹半導體(無錫)有限公司;上海華虹宏力半導體制造有限公司申請一項名爲“最佳曝光焦距差的確定方法”的專利,公開號CN120065641A,申請日期爲2025年03月。專利摘要顯示,本申請公開了一種最佳曝光焦距差的確定方法,包括:獲取多種類型的半導體產品的曝光數據組,該曝光數據組包括其對應類型產品的最佳曝光焦距差和圖形間距,最佳曝光焦距差是在...

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