臺積電A14製程仍不會採用High NA EUV光刻機

芯智訊
05-30

5月28日消息,雖然目前英特爾已經在其Intel 18A製程的研發過程中導入了ASML最新的High NA EUV光刻機,但是臺積電似乎卻不急於採用這類價格昂貴的設備,即便是尖端的A14製程也將不會採用。此前,臺積電業務開發及全球銷售高級副總裁張曉強就曾公開表示,雖然對High NA EUV能力印象深刻,但設備價格超過 3.5 億歐元(3.78 億美元)。目前的標準型EUV光刻機,仍可以支持臺積電...

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