金融界2025年5月31日消息，國家知識產權局信息顯示，ASM IP私人控股有限公司申請一項名為「負載鎖定裝置及其製造方法和半導體處理系統」的專利，公開號CN120072696A，申請日期為2024年11月。

專利摘要顯示，一種負載鎖定裝置包括負載鎖定主體，負載鎖定主體具有在上附件座孔處限定上附件座的上板、在中間附件座孔處限定中間附件座的與上板間隔開的中間板以及在下附件座孔處限定下附件座的通過中間板與上板分開的下板。第一附件板固定到上附件座，第二附件板固定到下附件座。上附件座孔、中間附件座孔和下附件座孔豎直對準以形成負載鎖定主體孔。還描述了半導體處理系統和製造負載鎖定裝置的方法。