金融界2025年6月7日消息，國家知識產權局信息顯示，意法半導體國際公司申請一項名為「具有包括污染減少結構的外部流體耦合的微機電傳感器」的專利，公開號CN120101846A，申請日期為2024年12月。

專利摘要顯示，本公開的實施例涉及具有包括污染減少結構的外部流體耦合的微機電傳感器。微機電傳感器包括：支撐體，支撐體包含半導體材料；以及覆蓋件，覆蓋件是半導體材料的，覆蓋件被耦合到支撐體並且具有支撐體佈置的內表面、以及多個入口孔。傳感器還包括感測結構，感測結構包括測量室和敏感元件，敏感元件被至少部分地形成在支撐體中並且面向測量室；流體路徑，流體路徑被配置為穿過入口孔將感測結構與傳感器外部的環境耦合，並且具有到測量室的進入區段；以及捕獲結構，捕獲結構被限定在支撐體中。捕獲結構與相應的流體連通連通，並且以相對於每個流體路徑的進入區段距覆蓋件的內表面更大的距離至少部分地在支撐體中延伸。