金融界2025年6月14日消息，國家知識產權局信息顯示，細美事有限公司申請一項名爲“加熱器電路、其控制方法和襯底處理設備”的專利，公開號CN120152070A，申請日期爲2024年11月。

專利摘要顯示，本發明提出了一種無需二極管即可控制並聯連接的多個加熱器元件的加熱器電路、所述加熱器電路的控制方法以及襯底處理設備。用於在襯底處理設備中加熱襯底的加熱器電路包括：直流(DC)電源，所述直流電源配置爲供應直流電壓，其中所述直流電源的負極接地；前端開關陣列，所述前端開關陣列包括並聯連接到所述直流電源的正極的前端開關；加熱器陣列，所述加熱器陣列包括加熱器元件，所述加熱器元件中的每一者的前端連接到所述前端開關；接地開關陣列，所述接地開關陣列包括並聯連接在所述加熱器陣列的所述加熱器元件的後端與地之間的接地開關；以及後端開關陣列，所述後端開關陣列包括並聯連接在所述直流電源正極與所述接地開關之間的後端開關。