華虹半導體申請閃存器件製造方法專利,避免前層帶來的刻蝕不均勻性的影響

金融界
06-14

金融界2025年6月14日消息,國家知識產權局信息顯示,華虹半導體(無錫)有限公司申請一項名爲“閃存器件的製造方法”的專利,公開號CN120152287A,申請日期爲2025年03月。專利摘要顯示,本發明提供一種閃存器件的製造方法,提供襯底,襯底包含存儲區、載帶區和外圍邏輯區,在存儲區和外圍邏輯區上形成疊層結構,疊層結構由自下而上依次堆疊的耦合層、浮柵多晶硅層、極間介質層、控制柵多晶硅層組成;在...

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