如果大家關注光刻機的發展歷史就會知道，別看現在的荷蘭ASML很厲害，但在早期真的只是一個小廠，日本的尼康、佳能比ASML牛很多。當年的尼康、佳能，根本就沒有將ASML放在眼裏，因爲ASML技術不行，市場份額更是毫無可比性，沒有逆襲的可能性。轉折點是什麼呢？當時尼康、佳能們已經研發出了DUV光刻機，採用193nm波長的光源。而在這種DUV光刻機後，尼康、佳能覺得應該進一步縮短光源的波長，實現分辨率的...
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