金融界2025年6月21日消息，國家知識產權局信息顯示，應用材料以色列公司申請一項名為「用於光學檢查系統的基於鏡的中繼設備」的專利，公開號CN120177508A，申請日期為2024年12月。

專利摘要顯示，一種用於檢查掩模或芯片的光學檢查系統，該系統包括：物鏡，用於收集來自被檢查對象的光；中繼組件，所述中繼組件放置在物鏡與成像組件之間的光學路徑上，用於收集來自物鏡的光，並將所收集的光中繼到成像組件，其中光學檢查系統進一步包括放置在物鏡與中繼模塊之間的光學路徑上的鏡，用於以遠離物鏡的光軸並進入中繼組件的光軸的角度改變光學路徑的方向，中繼組件包括反射表面，該反射表面被佈置成使得所收集的光在中繼組件內來回穿過三次。還描述了相關的裝置和方法。