金融界2025年6月21日消息，國家知識產權局信息顯示，吉林大學;瀋陽儀表科學研究院有限公司申請一項名為「一種壓力傳感器及加工方法」的專利，公開號CN120172339A，申請日期為2025年05月。

專利摘要顯示，本申請涉及壓力傳感器領域，尤其涉及一種壓力傳感器及加工方法，芯片包括硅襯底、二氧化硅介質層、器件層、金屬電極以及封裝玻璃；器件層包括碳化硅單晶器件層和硅器件層；碳化硅單晶器件層設定在硅器件層上；硅器件層、二氧化硅介質層以及硅襯底依次連接；器件層經刻蝕形成敏感電阻器件層、環形封接區以及微通道；敏感電阻器件層通過微通道與環形封接區隔離；器件層、二氧化硅介質層以及硅襯底經刻蝕形成十字梁刻蝕區域；硅襯底經刻蝕形成硅壓力腔體和梁膜；金屬電極設定在器件層頂部；封裝玻璃陽極鍵合在器件層的頂部或硅襯底的底部，以解決MEMS壓力傳感器存在耐高溫性和靈敏度低的問題。