30億元/臺!全球首臺頂級光刻機出貨 支持後2nm工藝:中國廠商不可能買到

快科技
07/17

快科技7月17日消息,光刻機龍頭ASML現在宣佈,全球首臺最強光刻機第二代High NA EUV已經出貨。按照官方的說法,EXE:5200是ASML對現有初代High NA EUV光刻機EXE:5000的改進版本,首臺買家是英特爾,一臺售價近30億元。相比初代High NA EUV光刻機EXE:5000來說,EXE:5200擁有更高的晶圓吞吐量(EXE:5000為每小時185片以上),可以更好的為...

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