快科技7月23日消息,據媒體報道,全球光刻巨頭尼康近日宣佈,正式推出全球首款專爲半導體後道工藝設計的無掩模光刻系統——DSP-100,並已啓動全球預訂,預計於2026年3月31日前正式上市。該設備以“高精度、大尺寸、高效率”爲核心優勢,旨在爲快速發展的扇出型面板級封裝(FOPLP)技術提供關鍵設備支持。DSP-100將FPD曝光設備的多鏡組技術,與半導體高分辨率工藝相結合,實現了1.0μm(...
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