用上30億一台的EUV光刻機 Intel對14A仍有信心:沒客戶的可能不大

快科技
2025/09/07

快科技9月7日消息,Intel公司今年將量產18A工藝,這是他們四年五代工藝中的關鍵一環,而且該工藝會持續改進,一直用到2030年。18A下一代工藝就是14A了,這一代還會用上High NA EUV光刻機,也就是ASML公司的Twinscan NXE:5000系列,NA提升到0.55,分辨率更高,是2nm節點以下的關鍵設備。相比當前EUV光刻機每台2億美元的價格,Twinscan NXE:5000...

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