國家知識產權局信息顯示,瑞聲開泰科技(武漢)有限公司申請一項名爲“懸臂樑、其製造方法及包含該懸臂樑的MEMS器件”的專利,公開號CN120589681A,申請日期爲2025年06月。專利摘要顯示,本發明涉及懸臂樑製造技術領域,提供了一種懸臂樑、其製造方法及包含該懸臂樑的MEMS器件。該製造方法包括:步驟S1:提供SOI晶圓;步驟S2:刻蝕功能層,直至埋氧層停止刻蝕;步驟S3:在支撐層和/或功能層上...
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