源自:牲產隊
美國造不出的DUV光刻機,中國造出來了。
上海初創公司“宇量升”,實現了國產首臺28納米DUV光刻機的突破。中芯國際已經與宇量升達成合作,成功完成了設備測試。別看它明面上是28納米技術,實際通過多重曝光工藝,能生產7納米,甚至5納米芯片。
宇量升公司成立才三年,怎麼就完成了中國芯片產業史詩級的突破?國產DUV光刻機一旦正式投產,對中美意味着什麼?
宇量升公司成立於2022年,雖然是初創公司,背後來頭可真不小。宇量升背後有兩大股東,各持股50%。一是上海科技創業投資集團全資子公司創科微,意味着上海國資大力扶持,糧草管夠。二是深圳的芯片設備企業新凱來。這家公司,是個啥來頭?可以這麼說,新凱來整合了國內頂級零部件供應商,讓大半個芯片設備產業鏈,來託舉宇量升。
比如長春光機所控股的奧普光電,提供光刻機曝光系統。光學鏡頭頂級供應商永新光學,提供DUV光刻機的鏡頭模組體系。福晶科技,全球非線性光學晶體市佔率80%的龍頭企業,跟宇量升一起開發了固體激光驅動光源。波長光電,爲宇量升提供關鍵零部件的光源鏡片。背後站着一堆頂級大廠,宇量升研發出的國產DUV光刻機,含金量也就不言而喻了。
國產DUV的突破,對中美至少有着三大意義:
一是,美國對華芯片封鎖戰略,註定失敗。
高端芯片一直是美國對華施壓的關鍵籌碼。像阿斯麥的先進光刻機,英偉達的高端AI芯片,全都被禁止對華出售。
很多人可能以爲,美國鎖死了光刻機與高端芯片,中國科技發展就很難突破了。實際不是那麼回事,國產芯片需求大頭,是28納米以下的成熟製程。中國不僅能做到自給自足,還能大量出口,2024年出口金額突破萬億元大關。
現在國產DUV突破,芯片製程推進到5納米,進一步“芯片自由”了。像手機、車機、AI乃至軍工芯片,九成以上的芯片需求,都能實現國產化替代。美國所謂的封鎖戰略,很難再成爲施壓中國的籌碼了。
二是,我們從技術層面,徹底超越美國了。
很多人可能以爲,美國的光刻機技術一定非常強。其實不是,美國壓根就沒法獨立造出光刻機來。全世界能造出DUV光刻機的,只有荷蘭的阿斯麥以及日本的佳能和尼康。中國現在也實現了DUV突破,含金量甚至比荷蘭、日本更高。
因爲他們製造光刻機的零部件,大多不是自己國產,而是西方產業鏈協作的結果。中國就不一樣了,現在大量關鍵零部件已經實現了國產化。未來爲了防止西方卡脖子,全國產化光刻機的目標,也必然會實現。
三是,中國突破EUV光刻機,應該也不遠了。
其實EUV光刻機的不少關鍵技術,已經被我們掌握了。像哈工大團隊,用全新的技術路線,研發出了13.5納米極紫外光源技術,打破了西方的封鎖壟斷。長春光機所,攻克了高精度弧形反射鏡系統,EUV多層膜等多個關鍵技術領域。另外像上海微電子,中科院光電所,深圳新凱來等大量科研團隊,都在攻關EUV光刻機。
要不了幾年,我們會像現在聽到國產DUV突破一樣,突然見證國產EUV光刻機落地的歷史時刻。
來源:牲產隊