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9 月 17 日，A 股半導體板塊強勢上漲，中芯國際盤中股價一度漲 9.89% 至 120.8 元創歷史新高，最終收漲 6.93%，總市值超 9390 億元；炬光科技（688165）等光刻機概念股同步走強，當日收漲 7.21%。

這輪行情源於雙重利好：騰訊宣佈全面適配國產芯片構建自主 AI 算力生態，以及外媒報道中芯國際測試中國首款國產 DUV 浸沒式光刻機，標誌國產光刻設備獲關鍵突破。

在 AI 算力需求激增下，半導體產業鏈形成正向循環。長江證券數據顯示，2025 年上半年全球半導體銷售額因 AI 增長 20%，中國增速 13.1%，晶圓廠稼動率超 90%。騰訊適配國產芯片拓寬了本土半導體設備市場，進一步凸顯光刻機戰略價值。儘管 ASML 壟斷高端光刻機市場，但國內已在 28nm 製程實現 70% 國產化率突破，上海微電子 7nm 多重曝光設備已獲中芯國際、華虹宏力等頭部廠商訂單，此時梳理光刻機核心企業格局，對理解國產替代路徑與投資邏輯至關重要。

一、光刻機概念股基本情況介紹

光刻機作爲半導體制造領域的 “皇冠上的明珠”，是芯片製程升級的核心設備，直接決定了集成電路的最小線寬和性能上限。光刻機概念股涵蓋了從核心零部件、材料到整機集成、配套設備的完整產業鏈，具體包括光源系統、投影物鏡、精密工件臺等核心模塊，以及光刻膠、特種氣體等關鍵材料領域。

這類企業在半導體產業中處於戰略基礎地位，是實現芯片製造自主可控的關鍵環節。其技術突破不僅能打破海外壟斷（如 ASML 在高端光刻機市場的主導地位），更能支撐國內從 28nm 成熟製程到 7nm 先進製程的全面突破。國家大基金三期 3440 億元重點投向光刻機領域，進一步凸顯該板塊在國產替代戰略中的核心價值。

二、光刻機產業最新動態

1.技術突破：2025 年 5 月，上海微電子交付首臺 SSA800/10i 浸沒式光刻機，支持 7nm 多重曝光工藝，國產化率超 70%，成本較 ASML 同類設備低 30%，已獲中芯國際（688981）、華虹宏力訂單，交付週期縮短至 4 個月。

2.國際動態：7 月 16 日，ASML 發佈 2025 年二季度財報，淨銷售額達 77 億歐元，同比增長 23.2%，其中中國市場營收佔比超 25%，新增訂單包含 23 億歐元 EUV 光刻機訂單，首臺 High NA 系統已發運。

3.政策支持：8 月，國家大基金三期向上海微電子注資 50 億元，專項支持其 EUV 技術研發；上海出臺 “併購六條” 政策，簡化半導體資產證券化審覈流程，爲光刻機企業上市鋪路。

4.資本運作：8 月市場消息顯示，上海微電子借殼上市進入衝刺階段，海立股份（600619）成爲首選標的，概率達 70%，公司已修訂章程掃清重組障礙。

三、光刻機核心企業梳理（按 2025H1 業績增速排序）

1. 華特氣體（688268）

業績表現：2025 年上半年營收 3.1 億元，同比增長 10.52%；歸母淨利潤 5584.61 萬元，同比激增 199.82%。

核心優勢：控股子公司的光刻氣產品（Kr/Ne、Ar/Ne/Xe）已通過 ASML 認證，成爲國內少數具備高端光刻氣供應能力的企業，打破美國空氣產品公司的壟斷，直接供應中芯國際（688981）、華虹半導體等頭部晶圓廠。

2. 茂萊光學（688502）

業績表現：2025 年上半年營收 3.19 億元，同比增長 32.26%；淨利潤 3275.55 萬元，同比增長 110.36%，扣非後淨利潤增速達 156.40%。

核心優勢：專注於光刻機精密光學元件，爲上海微電子提供透鏡、棱鏡等核心組件，其研發的超高純度石英玻璃加工工藝達到 λ/100 面形公差標準，已進入國產 28nm 光刻機供應鏈，間接配套中芯國際（688981）產線。

3. 福晶科技（002222）

業績表現：2025 年上半年營收 5.19 億元，同比增長 18.1%；淨利潤 1.38 億元，同比增長 20.6%。

核心優勢：全球領先的 LBO/BBO 非線性光學晶體供應商，產品用於光刻機激光光源系統，佔據全球 70% 以上市場份額。其深紫外晶體材料已通過科益虹源驗證，用於 193nm ArF 準分子激光器製造，該激光器爲上海微電子設備核心部件，最終服務中芯國際（688981）等客戶。

4. 南大光電（300346）

業績亮點：ArF 光刻膠通過中芯國際（688981）驗證並實現量產，成爲國內首家突破 KrF/ArF 光刻膠技術壁壘的企業，潛江基地 30 噸 / 年產能投產，在顯示光刻膠領域市佔率超 60%。

投資價值：受益於國家大基金三期重點扶持，光刻膠業務營收佔比從 2024 年的 12% 提升至 2025H1 的 28%，訂單能見度延伸至 2026 年，其中中芯國際（688981）訂單佔比超 35%。

5. 炬光科技（688165）

業績表現：2025 年上半年營收未單獨披露，半導體設備業務營收同比增長 87%；歸母淨利潤未單獨披露，半導體業務貢獻淨利潤佔比達 42%。

核心優勢：研發的光場勻化器（微透鏡陣列）已進入上海微電子供應鏈，用於光刻照明系統，其高精度光束整形技術可將光均勻性提升至 95% 以上，滿足 28nm 製程需求，產品間接配套中芯國際（688981）測試線。

增長潛力：計劃拓展更多微光學組件用於高端光刻系統，2025 年已與科益虹源簽訂合作協議，共同開發 EUV 光源配套組件。

6. 奧普光電（002338）

核心優勢：長春光機所旗下企業，承接國家 02 專項光刻機光學系統課題，其研發的精密光柵定位技術精度達 0.06 納米，應用於工件臺控制系統，打破 ASML 磁浮技術壟斷。

業務進展：2025 年 6 月與華卓精科簽訂戰略合作協議，共同推進雙工件臺國產化量產，相關產品已進入中芯國際（688981）驗證線，預計 2025 年底實現小批量交付。

7. 張江高科（600895）

核心價值：持有上海微電子 10.779% 股權，是其最重要的 A 股關聯標的。上海微電子 28nm 光刻機量產將直接增厚公司投資收益，按 1500 億元估值測算，對應股權價值約 162 億元；同時，公司通過產業基金間接投資中芯國際（688981），持股比例 1.2%。

產業協同：作爲張江科學城開發主體，已引入 12 家光刻機配套企業，形成 “設備 + 材料 + 零部件” 產業集羣，享受園區稅收優惠與產業基金支持，其中炬光科技（688165）、華特氣體（688268）均爲園區內企業。

8. 海立股份（600619）

投資邏輯：上海微電子借殼首選標的（市場預期概率 70%），2025 年 7 月修訂公司章程，刪除 “家電製造業” 單一業務限制，爲重組鋪路；格力電器減持後，公司前十大股東持股比例降至 45%，重組阻力消除。

潛在收益：若借殼完成，按上海微電子 3000-6000 億元估值計算，公司市值存在 10 倍以上彈性空間，8 月 B 股轉換批覆將成爲重要催化事件；上海微電子若成功上市，其設備供應能力將進一步提升，間接利好中芯國際（688981）等下游客戶。

四、光刻機產業鏈企業圖表

數據來源：企業 2025 年上半年年報與公開市場信息整理。