據《韓國經濟日報》報道，據報道，三星將於今年晚些時候收到其首款高數值孔徑 （high-NA）EUV掃描儀——Twinscan EXE：5200B，隨後將於 2026 年上半年推出第二台掃描儀。報告補充說，雖然該公司已經在其華城市園區運營了一種研究用途的高 NAEUV工具，但新系統將標誌着其首次旨在大規模生產的收購。報告指出，競爭對手台積電目前正在測試該系統的研發版本，但尚未將其部署用於商業規模製造...
網頁鏈接據《韓國經濟日報》報道，據報道，三星將於今年晚些時候收到其首款高數值孔徑 （high-NA）EUV掃描儀——Twinscan EXE：5200B，隨後將於 2026 年上半年推出第二台掃描儀。報告補充說，雖然該公司已經在其華城市園區運營了一種研究用途的高 NAEUV工具，但新系統將標誌着其首次旨在大規模生產的收購。報告指出，競爭對手台積電目前正在測試該系統的研發版本，但尚未將其部署用於商業規模製造...
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