10月23日,據台灣媒體報道,全球領先的半導體製造商台積電在面對技術節點進一步微縮至1.4納米(A14)及1納米(A10)的新制造瓶頸時,做出了重大決策:放棄採購單價高達4億美元的ASML高數值孔徑(High-NA)EUV光刻機。理論上,採購荷蘭ASML公司尖端的高數值孔徑EUV光刻機是解決這一技術難題的直接方案。然而,最新報道指出,台積電並未選擇這一路徑,而是決定採用「光掩模護膜」技術作為替代...
網頁鏈接10月23日,據台灣媒體報道,全球領先的半導體製造商台積電在面對技術節點進一步微縮至1.4納米(A14)及1納米(A10)的新制造瓶頸時,做出了重大決策:放棄採購單價高達4億美元的ASML高數值孔徑(High-NA)EUV光刻機。理論上,採購荷蘭ASML公司尖端的高數值孔徑EUV光刻機是解決這一技術難題的直接方案。然而,最新報道指出,台積電並未選擇這一路徑,而是決定採用「光掩模護膜」技術作為替代...
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