EUV很難被顛覆,納米壓印也不行

半導體行業觀察
2025/10/27

大約每隔 6 個月,我們就會看到有關納米壓印光刻顛覆 EUV 的新一輪頭條新聞。這聽起來像是個不錯的標題黨,但事實並非如此。這項技術有很多有趣且有效的應用,但遠不及EUV所能達到的程度。理論上,NIL可以匹敵甚至超越EUV。但實際上,NIL存在一些嚴重的問題,而且目前還沒有明確的發展方向。在本文中,我們將從理論層面與晶圓廠實際操作層面解釋這些差異。我們還將詳細介紹市場中的關鍵參與者及其可能的應用...

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