本文由半導體產業縱橫（ID：ICVIEWS）綜合ILT是一種通過建立光刻模型傳輸函數的逆變換，將目標晶圓圖形反推掩模圖形的芯片製造技術。計算機芯片無疑是現代世界的偉大奇蹟之一，是令人難以置信的工程傑作。正當你以為它們已經足夠複雜精妙的時候，反向光刻技術（ILT）橫空出世，這項奇特而前衛的技術有望將芯片設計推向更高的性能水平。嚴格來說，ILT並非新技術。ILT是一種通過建立光刻模型傳輸函數的逆變換，...
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