西門子收購Canopus:引入「AI顯微鏡」技術,讓造芯更準、更快

IT之家
02/05

IT之家 2 月 5 日消息,西門子(Siemens)昨日(2 月 4 日)發布公告,宣佈收購法國初創公司 Canopus AI,通過引入計算量測(Computational Metrology)和檢測技術,強化其 Calibre 晶圓製造軟件生態。

據西門子透露,該筆交易實際上已於 2026 年 1 月 12 日完成交割。儘管官方未披露具體金額,但業界估算交易額約在 1.5 億至 3 億歐元(IT之家注:現匯率約合 12.31 億至 24.62 億元人民幣)之間。

Canopus AI 是一家總部位於法國格勒諾布爾的創新企業,成立於 2021 年,專注於利用機器學習和人工智能技術優化半導體量測與檢測流程。

Canopus AI 面向量測與檢測領域的機器學習及人工智能技術,通過量測邊緣放置誤差(EPE),優化晶圓製造仿真模型

Canopus AI 在行業內開創性地提出了「Metrospection」理念。該理念旨在搭建一個全面的軟件框架,利用 AI 技術打通傳統晶圓量測與檢測之間的技術壁壘,通過其特有的 Mapbox 類查看器,用戶可以交互式審查關鍵尺寸掃描電子顯微鏡(CD-SEM)圖像及大批量製造數據。

面對器件尺寸微縮和產能擴大的雙重挑戰,大規模量測已成為保障先進製程良率的關鍵。西門子計劃將 Canopus AI 的技術與其 Calibre 產品組合中的「計算光刻」及「製造物理仿真」能力深度整合。

Canopus AI 網頁版 Mapbox 類查看器,支持關鍵尺寸掃描電子顯微鏡(CD-SEM)圖像、HVM(大批量製造)Oasis 及計量檢測數據的交互審查。

通過這種互補,西門子將提供一套具備差異化的端到端 EDA 解決方案。這不僅能提升晶圓圖形成像的保真度,還能通過精準測量邊緣放置誤差(EPE),幫助製造商實現亞納米級的工藝控制。

西門子數字化工業軟件總裁 Tony Hemmelgarn 強調,此次收購彰顯了西門子用工業 AI 解決製造挑戰的決心。整合後的技術將助力半導體企業縮短先進製程節點的量產周期,並加速良率爬升。

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