普達特科技(00650):成功向客戶交付一台12英寸高溫硫酸清洗設備

智通財經
02/11

智通財經APP訊,普達特科技(00650)發布公告,公司已成功向客戶交付一台12英寸高溫硫酸清洗設備。該設備廣泛應用於28/14/7nm等先進製程的關鍵清洗工藝,市場目前主要由海外設備供應商壟斷。公司研發的該設備,經過前期測試驗證,在技術性能方面均達到對標海外設備,且具備國內領先、國際一流的高溫控制能力,可覆蓋至190℃的高溫硫酸清洗工藝。同時,該設備具備集成化與兼容性設計,並採用靈活的應用配置,可為客戶提供更具綜合競爭力的解決方案。

此外,公司近期已成功向4家客戶交付5台單片晶圓清洗設備,包括:向一家12英寸晶圓代工廠客戶,成功交付一台OCTOPUS設備,用於28nm製程的關鍵清洗道次;向一家12英寸高性能模擬與功率器件客戶,成功交付一台OCTOPUS設備與一台CUBE設備等。上述成功交付的訂單中,有兩台設備訂單為來自現有客戶的重複訂單。公司亦獲得一台OCTOPUS設備重複訂單,該設備即將進行交付。上述訂單的收入均暫未確認。

未來,公司將繼續致力於完成該等半導體清洗設備的訂單交付與驗收,並充分發揮公司技術團隊在半導體溼法技術方面的優勢,繼續擴大高質量半導體客戶在關鍵應用領域對公司設備的採用。

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