晶合集成獲得實用新型專利授權:「一種半導體薄膜沉積設備」

證券之星
06/16

證券之星消息,根據天眼查APP數據顯示晶合集成(688249)新獲得一項實用新型專利授權,專利名為「一種半導體薄膜沉積設備」,專利申請號為CN202521427925.4,授權日為2026年6月16日。

專利摘要:本實用新型公開的一種半導體薄膜沉積設備,半導體薄膜沉積設備,包括:反應腔,其內部設定承載台,所述承載台用於承載晶圓;前驅體供氣裝置,設定於所述反應腔的頂部;噴淋頭,設定於所述承載台和所述前驅體供氣裝置之間;環形遮擋結構,位於所述噴淋頭與所述承載台之間,用於遮擋所述晶圓上表面的邊緣;惰性氣體供氣裝置,設定於所述承載台的邊緣外側,以向所述晶圓背面邊緣處鼓入惰性氣體;真空泵,用於抽出所述反應腔內的氣體。本實用新型在薄膜沉積的過程中,可改善晶圓表面的溫度分佈均勻,改善薄膜沉積後的膜層均勻性。

今年以來晶合集成新獲得專利授權229個,較去年同期增加了36.31%。結合公司2025年年報財務數據,2025年公司在研發方面投入了14.53億元,按年增13.2%。

通過天眼查大數據分析,合肥晶合集成電路股份有限公司共對外投資了12家企業,參與招投標項目645次;財產線索方面有商標信息76條,專利信息1693條,著作權信息12條;此外企業還擁有行政許可27個。

數據來源:天眼查APP

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