來源：金角財經

　　作者 | 羅夏

　　一台還沒有正式走進晶圓廠的中國光刻機，已經先在資本市場上掀起了一場海嘯：

　　先將全球光刻霸主ASML的股價砸出深坑，又把A股的張江高科瞬間推上了漲停板。

　　7月27日，據《The Information》報道，一家位於上海、具有國資背景的企業，已經開始製造國產浸沒式DUV光刻機，計劃今年生產約5台，2027年增加到20台。首批設備預計年內交付中芯國際、華虹半導體和長鑫科技，接受測試並嘗試導入產線。

　　消息傳出後，ASML股價大跌8.4%，創下近期最大單日跌幅之一。

　　次日A股開盤，資金迅速撲向光刻機概念。捷衆科技開盤僅一分鐘便直線拉升，斬獲「30cm」漲停；藍英裝備、波長光電雙雙鎖定「20cm」漲停；張江高科、永新光學、海立股份、東方嘉盛等個股更是紛紛封死漲停板。

　　耐人尋味的是，外媒報道全程未提及製造商的具體名字，而這批設備最終能否叩開商業產線的大門，依然是個未知數。

　　但僅憑「上海」、「國資背景」、「浸沒式DUV」這幾個極具指向性的標籤，市場已經迅速鎖定了上海微電子，並順藤摸瓜將持有其10.779%股權的張江高科，頂上了這場資本狂歡的舞台中央。

　　一家低調至極、極少公開披露技術進展的未上市公司，憑什麼能讓千億光刻巨頭陡然失色，又讓一家園區開發企業一時風光無兩？

　　這背後，既有張江高科十年前投下的2.23億元，也有上海花了二十多年佈下的一盤棋。

　　張江高科先漲停了

　　資本市場之所以精準鎖定了張江高科，依靠的是一條清晰無比的股權線索。

　　張江高科自己不生產光刻機，主營業務是產業園區開發、物業租賃和科技投資。過去，它更像張江科學城的「房東」；這些年，隨着手裏的科技企業股權越來越多，它又逐漸有了另一重身份：張江產業生態的投資平台。

　　時間拉回到2016年，張江高科全資子公司張江浩成出資2.2345億元投資上海微電子，獲得後者10.779%的股權。此後，這筆股權一直沒有增持，也沒有減持。

　　作為國內前道光刻領域的焦點企業，上海微電子總部坐落於上海，且身兼國資背景。因此，當海外報道猝不及防地揭露「一家上海國資背景企業開始製造浸沒式DUV光刻機」時，嗅覺敏銳的敏捷資金，瞬間順着這條股權紐帶撲向了張江高科。

　　不過，報道沒有點名上海微電子，公司也沒有公開確認。換句話說，張江高科今天的漲停，交易的仍然是一種猜測。

　　但這種猜測並非毫無基礎。早在2025年12月底，中國政府採購網就曾披露過一則重磅公告：上海微電子以約1.1億元的價格，成功中標一台 SSC800/10 步進掃描式光刻機。消息一出，張江高科盤中應聲大升逾8%。

　　招投標文檔顯示，該設備要求分辨率不高於110納米，套刻精度不高於15納米。專家論證意見給出了極其關鍵的結論：在這一特定技術指標下，全中國僅有上海微電子一傢俱備研發與製造能力。

　　這筆億元訂單至少證明，上海微電子已經能夠交付特定的前道步進掃描設備。

　　但理性看待，去年的SSC800/10，不能直接等同於此次傳聞中的浸沒式DUV。前者主要對應90納米及以上工藝研發，後者的技術等級和產線要求都要高得多。

　　舊訂單無法替新傳聞作證，卻讓市場看到了上海微電子真實的設備能力。張江高科十年前買下的，也不只是一張依靠概念支撐的股權憑證。

　　由於上海微電子尚未上市，每當國產光刻機出現新消息，持有其近11%股權的張江高科，總會成為A股資金最先按下的那個按鈕。

　　而要理解這筆股權為什麼如此受追捧，還得回到2000年前後的上海。

　　上海押了20多年的「冷板凳」

　　在互聯網狂飆突進、資本追逐快錢的年代，上海卻把極為沉重的資源，押給了最燒錢、見效最慢的集成電路。

　　1999年，上海提出「聚焦張江」。此後，集成電路、軟件和生物醫藥成為張江重點發展的產業，土地、資金、人才和相關企業隨之向園區集中。

　　上海微電子便誕生在這輪佈局中。

　　2002年，公司在張江成立。那時，全球高端光刻機市場已經被ASML、尼康和佳能佔據。越往先進製程走，技術壁壘越高，留給後來者的空間越小。

　　光刻機的難點，也遠不止把圖案縮小後投到晶圓上。工作時，晶圓和掩模版要高速運動，設備還必須保持納米級同步。光源、鏡頭、工件台、測量系統和控制軟件中的任何一個環節出現誤差，最後損失的都可能是整批晶圓。

　　對啱啱成立的上海微電子來說，直接挑戰最先進設備並不現實。它選擇了一條更為務實且極其考驗定力的生存路徑：以戰養戰。

　　公司決定從先進封裝、LED及顯示面板等商業化門檻相對較低的領域切入。這些設備雖無法與最頂尖的前道製造相提並論，卻帶來了源源不斷的真實訂單與造血能力，更幫團隊打磨了精密運動控制、調焦調平、光學系統及整機集成的硬核底座。

　　憑藉這套打法，上海微電子的破局節點依次展現：

　　2009年，首台先進封裝光刻機問世；2013年，面向LED領域的步進光刻機交付；

　　2015年，高分辨率平板顯示光刻機順利出貨；2016年，首台前道掃描光刻機交付；

　　2018年，90納米前道光刻機項目正式通過驗收；

　　2022年，中國首台2.5D/3D先進封裝光刻機發運，成功打

　　入高性能計算與AI芯片的關鍵封測陣地。

　　上海微電子的發展路徑並不轟動，甚至顯得有些慢。它先在能夠交付和賺錢的領域站穩腳跟，再一點點向晶圓製造最核心的「無人區」艱難蠶食。

　　這種長達二十年的耐心，極大地仰賴於張江獨特的產業生態。

　　經過二十餘年的深耕，張江已匯聚近700家集成電路企業，產業規模破2000億元，貢獻了上海的半壁江山與全國近兩成的份額，構建起覆蓋設計、製造、設備、材料與封測的完整閉環。

　　光刻機擁有數以萬計的精密零件，它的迭代必須依賴真實的晶圓產線反覆「餵養」和磨合。只有當供應商、設備商與晶圓廠在物理空間上足夠近，工程師才能在最短時間內定位故障、迭代升級。

　　從這個角度看，張江高科2016年投向上海微電子的2.23億元，並非一筆偶然押中熱點的財務投資。

　　它更像張江產業生態自然長出來的一部分：園區搭建舞台，投資平台提供長效耐力。張江高科也在這個漫長的陪伴中，悄然完成了從「收租房東」到「產業股東」的蛻變。

　　十年磨一劍。如今一則國產浸沒式DUV的傳聞，讓這筆長期躺在資產負債表裏的沉寂股權，驟然被激動的資本市場聚光燈照亮。

　　只不過，股權價值可以在一天內被漲停板重新計算，光刻機的價值卻只能在生產線上得到確認。

　　擺脫ASML還有多遠

　　浸沒式DUV雖不及EUV先進，卻依然是芯片製造中的關鍵設備。

　　EUV憑藉13.5納米的極紫外光總攬最尖端製程，至今仍被ASML獨家壟斷；而DUV使用193納米深紫外光，配合多重曝光等複雜工藝，同樣擁有向更先進製程延伸的潛力。

　　對於中國晶圓廠來說，浸沒式DUV的意義尤其特殊。

　　在EUV被全面封鎖、高端DUV受限的背景下，國產浸沒式DUV一旦通過產線驗證，就意味着本土芯片產業終於在最卡脖子的環節上實現了從0到1的突破。

　　但目前雙方的差距依然明顯。

　　按照報道，國產設備今年計劃生產約5台，2027年增加到20台。ASML在2025年共銷售279台DUV設備，其中約131台為浸沒式設備。

　　5台對131台，顯然不在同一個量級。

　　報道同時提到，國產設備在性能、製造質量和可靠性上仍落後於ASML。即使交付中芯國際、華虹和長鑫科技，也要經過數月測試，才能判斷是否具備進入生產線的資格。

　　商業晶圓廠從不為情懷埋單，決定採購的永遠是商業賬本。

　　它們要看一台設備每小時能夠處理多少片晶圓，長時間運行會不會頻繁故障，多次曝光能否保持套刻精度，零部件壽命有多長，維修速度夠不夠快。最終算下來，使用國產設備的良率和成本能不能被接受，纔是最關鍵的指標。

　　因此，5台國產設備短期內很難搶走ASML多少訂單，更談不上撼動其在全球高端光刻機市場的地位。

　　那麼，ASML的股價為何應聲下挫？

　　資本市場恐慌的，顯然不是今年少賣了5台設備，而是這個「0的突破」背後，意味着中國晶圓廠從此擁有了一個可以持續試錯、磨合與演進的「第二選項」。

　　高端裝備製造的規律極其殘酷：不進產線，永無迭代。光刻機只有真正嵌入真實的生產線，才能源源不斷地汲取工程師、供應商和晶圓廠聯調的反饋數據。

　　第一代設備或許效率低下、穩定性不足，但只要能留下來，就擁有了提升良率、攤薄成本的希望。

　　ASML的領先優勢不會因為5台設備消失。但在中國市場，它過去幾乎沒有對手的領域，可能開始出現裂縫。

　　張江高科已經用一個漲停，為那10.779%的股權給出了新定價。上海微電子要讓這筆定價站得住，還得讓晶圓廠願意把昂貴的生產線和寶貴的良率交給一台國產設備。

　　5台之後能不能有20台，20台之後能不能變成持續訂單，將決定這次突破最終能走多遠。

　　國產光刻機走到今天，討論也該從「能不能造」，推進到「能不能用、用了能不能賺錢」。

　　至少這一次，資本市場已經提前押注。

責任編輯：孫同懷