據快科技，國產光刻設備賽道傳來重磅利好突破。上海芯上微裝科技股份有限公司正式對外宣佈，近日公司自主研發的350nm步進投影光刻機(AST6200)，已經順利通過國內化合物半導體領域頭部客戶的全流程工藝驗證，並且拿到了批量重複採購訂單，正式從研發落地階段走向商業化批量交付。早在2025年11月，這家企業自主研發的首台350nm步進光刻機AST6200就完成了全部出廠調試與驗收流程，正式啓程發往合作客戶的生產現場。 很多人第一時間會把這台設備和傳統硅基芯片的先進製程光刻對標競爭，但實際上它的研發定位完全不同，是專門針對碳化硅、砷化鎵等化合物半導體生產場景量身定製的產品，主要服務下游新能源汽車、5G通信、光電子等高增長熱門產業，精準踩中了國內第三代半導體產業快速擴張的剛需缺口。 最值得一提的是，AST6200光刻機搭載的是芯上微裝完全自主研發的全棧式軟件控制系統，從底層硬件驅動到上層工藝管理邏輯，實現了100%自主可控。這套原生自研系統具備極強的工藝擴展能力和遠程運維功能，可以在設備全生命周期裏持續迭代升級賦能，幫助下游客戶實現更智能化、更高效率的產線運營。