阿斯麥稱High NA EUV首次進入高產量邏輯芯片生產

智通財經
09/01
【阿斯麥稱High NA EUV首次進入高產量邏輯芯片生產】阿斯麥9月1日透露,其High NA EUV平台首次用於高產量邏輯芯片產品,標誌着0.55 NA光刻技術從認證階段邁向生產應用。

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