ChainCatcher 消息，光刻設備製造商 ASML 將對供應韓國的更換用設備零部件價格統一上調 10%，對象包括極紫外（EUV）與深紫外（DUV）光刻設備的全部零部件，自明年 1 月供貨起適用。據 10 日業界消息，ASML 總部上月初通過韓國法人向三星電子與 SK 海力士提出該方案，經雙方採購部門協商後確定；定期採購的消耗性零部件，以及因故障或性能下降而更換的主要部件均納入漲價範圍。

光刻設備包含光學系統、光源、精密驅動裝置等大量部件，持續運轉成本將上升。ASML 以往多在原材料大漲或特定材料採購困難時單獨調整相關零部件價格，統一上調 10% 屬罕見。一位半導體業界人士稱，零部件構成要素整體漲價，同時也有客戶盈利後 ASML 希望多拿利潤的因素。ASML 單獨統計已安裝設備的服務、零部件與升級收入，去年該收入為 81.93 億歐元，佔整體收入 326.67 億歐元的 25%，公司預計今年該收入增長超過 30%。

報道稱，零部件之後，新下單的 ASML 設備價格也很可能上漲，公司正與主要客戶討論設備漲價。美國 The Information 今年 7 月報道，ASML 曾通知中國半導體企業等將 DUV 設備價格上調 10%，部分客戶已接受，最大客戶台積電據稱反對設備漲價。