【中科儀：擬實施集成電路乾式真空泵擴產項目】10月20日，中科儀公告，公司計劃在已有募投項目「乾式真空泵產業化建設項目」和「高端半導體設備擴產項目」基礎上，實施集成電路乾式真空泵擴產項目。項目資金來源為自籌資金，項目擬投資42,313.48萬元，其中中國科學院瀋陽科學儀器股份有限公司及上海分公司擬投資19,144.70萬元，實施主體為中國科學院瀋陽科學儀器股份有限公司；中科儀半導體設備有限責任公司擬投資23,168.78萬元，實施主體為中科儀半導體設備有限責任公司。
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