苏州天准申请智能双平台LDI系统和交替曝光方法专利,提高曝光精度

金融界
07 May

金融界2025年5月7日消息,国家知识产权局信息显示,苏州天准科技股份有限公司申请一项名为“一种智能双平台LDI系统和交替曝光方法”的专利,公开号CN119916651A,申请日期为2025年3月。

专利摘要显示,本发明提供了一种智能双平台LDI系统和交替曝光方法,属于激光智能加工领域,智能双平台LDI系统包括曝光站、A料台、B料台、对位模组和控制温度、湿度、压力的外围模组;A料台和B料台布置在曝光站的两侧,交替上下料;两个对位模组跨设在对应侧的料台上方,用于待加工物料的前定位,所述曝光站处还设有一个后定位模块,用于待加工物料的加工前后定位;本申请采用前后双工位交替曝光生产效率高,燕尾式气浮平台设计保证长行程高精度的角摆精度控制,主动聚焦调整方案提高了曝光精度,便于在IC载板、软板、HDI板、多层板、陶瓷基板、合金板等领域推广应用。

天眼查资料显示,苏州天准科技股份有限公司,成立于2009年,位于苏州市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本19244.5万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州天准科技股份有限公司共对外投资了14家企业,参与招投标项目59次,财产线索方面有商标信息80条,专利信息775条,此外企业还拥有行政许可25个。

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