福建金石申请单体回转空间型ALD沉积镀膜设备专利，提高工艺节拍

金融界

May 17, 2025

金融界2025年5月17日消息，国家知识产权局信息显示，福建金石智能装备制造有限公司申请一项名为“一种单体回转空间型ALD沉积镀膜设备”的专利，公开号CN119980195A，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本发明公开了一种单体回转空间型ALD沉积镀膜设备，包括主腔体、左腔门、右腔门，所述左腔门与右腔门通过腔门铰链分别连接到主腔体两侧，左腔门与右腔门均可与主腔体组成独立的真空反应腔室，左腔门与右腔门上分别设计有多腔室转架，所述多腔室转架分成4n个独立的单面开口区，开口方向朝腔体侧壁一侧形成独立腔室，主腔体与左腔门、右腔门组成的真空反应腔室对应多腔室转架等分为4n个功能区，按顺时针循环对应分别为第一真空隔离区、前驱体B反应区、第二真空隔离区、前驱体A反应区。采用单工艺腔室配合双腔门结构，工艺生产同时进行下料前冷却及上料，设计多个等分的独立功能分区配合多腔室转架，提高工艺节拍，减少气源消耗，降低生产成本。

天眼查资料显示，福建金石智能装备制造有限公司，成立于2024年，位于泉州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本4000万人民币。通过天眼查大数据分析，福建金石智能装备制造有限公司专利信息2条，此外企业还拥有行政许可2个。

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