金融界2025年6月21日消息，国家知识产权局信息显示，VAT控股公司申请一项名为“用于MEMS器件的气体类型补偿”的专利，公开号CN120188014A，申请日期为2022年10月。
专利摘要显示，用于计量系统(1)的控制和处理单元(40)，计量系统(1)包括至少第一传感器(10)，第一传感器(10)包括膜(12)、膜(12)的悬架(13)、底部芯片(21)以及形成在膜(12)与底部芯片(21)的至少一部分之间的腔体(30)。计量系统(1)包括振荡发生器单元(28)，振荡发生器单元被配置为使至少膜(12)产生振荡。控制和处理单元(40)被配置为在第一振荡模式和第二振荡模式中驱动振荡发生器单元(28)，在应用第一振荡模式期间测量第一阻尼响应，在应用第二振荡模式期间测量第二阻尼响应，联合处理第一阻尼响应和第二阻尼响应，并且基于联合处理导出压力和/或分子参数的至少一个值。
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