ASML:内存芯片EUV订单量首次反超

科技全掌控
Apr 19

随着行业对逻辑芯片和存储芯片的需求持续旺盛,ASML继续加大对人工智能驱动型基础设施的投资。

ASML表示,在可预见的未来,先进逻辑和存储芯片的供应仍将受到限制。

在 2026 年第一季度财报电话会议上,ASML 总裁兼首席执行官 Christophe Fouqet 强调,随着 AI 工厂规模扩大到下一个阶段,对先进逻辑和存储芯片的需求呈指数级增长,公司加大了对必要工具的投资,以加快 AI 生态系统中先进逻辑和存储芯片的生产。

客户正在积极增加产能,其背后的原因是解决包括人工智能、移动设备和个人电脑在内的终端市场面临的产能限制。

该公司公布了2026年第一季度按系统划分的销售额,其中51%的市场份额来自存储器相关终端应用系统,其余49%的销售额来自逻辑设计。EUV光刻技术仍保持领先地位,收入份额达66%,而DUV光刻机(ArF浸没式)的收入份额为23%。

韩国半导体工厂是全球最繁忙的地区,占比45%,其次是台湾(23%)和中国大陆(19%)。美国位列第四,占比12%(2026年第一季度)。ASML的大部分EUV/DUV系统供应给三星台积电中芯国际英特尔。ASML目前被限制向中国大陆销售其高端EUV光刻设备,但DUV设备的销售不受限制。然而,由于美国立法者正计划禁止向中国大陆出口DUV技术,这种情况可能会发生变化。

ASML总裁兼首席执行官Christophe Fouqet表示:展望未来市场,半导体行业的增长前景持续稳固,这主要得益于人工智能相关基础设施的投资。这些投资正在推动诸多领域对先进逻辑芯片和存储芯片的需求增长。在可预见的未来,需求将继续超过供应。这将对从人工智能到移动设备和个人电脑等终端市场造成供应紧张,并促使我们的客户积极扩充产能。

随着DRAM制造商向更新的工艺节点转型,存储器领域对尖端EUV和DUV光刻机的需求也在持续增长。ASML的订单量持续增加,并表示正与合作伙伴携手满足其需求,同时提供“生产力升级”方案,以在短期内优化生产效率。

内存芯片需求的增长主要来自SK海力士、三星和美光等HBM厂商,他们依赖EUV光刻技术来制造HBM3E、HBM4和HBM4E等新一代标准芯片。这些新标准对于NVIDIA和AMD即将推出的加速器至关重要,而这些加速器的需求量将非常旺盛。

ASML总裁兼首席执行官强调,除了扩大产能外,先进的DRAM和逻辑器件客户在新工艺节点上持续采用EUV和浸没式深紫外光刻技术,这进一步增加了他们对光刻技术的需求。因此,ASML的订单量持续强劲,我们与客户保持紧密联系,以满足他们的需求。同时,我们还为客户提供现有设备的产能升级方案,以满足其短期产量需求。

展望未来,ASML正致力于研发升级版低数值孔径EUV光刻机,其每小时产量至少可达330片晶圆。该系统预计将于下一个十年之初交付。ASML还发布了新款NXE:3800E PEP-E光刻机,在套刻精度相近的情况下,晶圆产量从每小时220片提升至每小时230片。

ASML表示,在技术方面,我们持续取得显著进展,并在今年二月于圣何塞举行的SPIE先进光刻和图案化会议上重点展示了多项最新成果。会上,我们发布了更新后的低数值孔径EUV产品路线图,其中体现了我们对这些产品短期和长期计划的改进。这包括在下一个十年之初实现低数值孔径EUV每小时至少330片晶圆的加工能力,这主要得益于我们持续改进光源功率,正如我们近期演示的1000瓦光源所证明的那样。

根据ASML的路线图,该公司预计将在2029-2030年推出其先进的NXE:4200G低数值孔径系统,晶圆输出能力至少为300瓦/小时。与此同时,高数值孔径EVU系统将推出EXE:5200D,提供2纳米以下级芯片(A14及以下),晶圆输出能力至少为175瓦/小时。

ASML计划到下一个十年初将其芯片产量提高50%,方法是将其设备中光源的功率提高66%。虽然这要到2030年才能实现,但该公司正致力于通过升级现有和即将推出的设备,提高晶圆产量,来解决供应紧张的问题。

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