来源：金角财经

　　作者 | 罗夏

　　一台还没有正式走进晶圆厂的中国光刻机，已经先在资本市场上掀起了一场海啸：

　　先将全球光刻霸主ASML的股价砸出深坑，又把A股的张江高科瞬间推上了涨停板。

　　7月27日，据《The Information》报道，一家位于上海、具有国资背景的企业，已经开始制造国产浸没式DUV光刻机，计划今年生产约5台，2027年增加到20台。首批设备预计年内交付中芯国际、华虹半导体和长鑫科技，接受测试并尝试导入产线。

　　消息传出后，ASML股价大跌8.4%，创下近期最大单日跌幅之一。

　　次日A股开盘，资金迅速扑向光刻机概念。捷众科技开盘仅一分钟便直线拉升，斩获“30cm”涨停；蓝英装备、波长光电双双锁定“20cm”涨停；张江高科、永新光学、海立股份、东方嘉盛等个股更是纷纷封死涨停板。

　　耐人寻味的是，外媒报道全程未提及制造商的具体名字，而这批设备最终能否叩开商业产线的大门，依然是个未知数。

　　但仅凭“上海”、“国资背景”、“浸没式DUV”这几个极具指向性的标签，市场已经迅速锁定了上海微电子，并顺藤摸瓜将持有其10.779%股权的张江高科，顶上了这场资本狂欢的舞台中央。

　　一家低调至极、极少公开披露技术进展的未上市公司，凭什么能让千亿光刻巨头陡然失色，又让一家园区开发企业一时风光无两？

　　这背后，既有张江高科十年前投下的2.23亿元，也有上海花了二十多年布下的一盘棋。

　　张江高科先涨停了

　　资本市场之所以精准锁定了张江高科，依靠的是一条清晰无比的股权线索。

　　张江高科自己不生产光刻机，主营业务是产业园区开发、物业租赁和科技投资。过去，它更像张江科学城的“房东”；这些年，随着手里的科技企业股权越来越多，它又逐渐有了另一重身份：张江产业生态的投资平台。

　　时间拉回到2016年，张江高科全资子公司张江浩成出资2.2345亿元投资上海微电子，获得后者10.779%的股权。此后，这笔股权一直没有增持，也没有减持。

　　作为国内前道光刻领域的焦点企业，上海微电子总部坐落于上海，且身兼国资背景。因此，当海外报道猝不及防地揭露“一家上海国资背景企业开始制造浸没式DUV光刻机”时，嗅觉敏锐的敏捷资金，瞬间顺着这条股权纽带扑向了张江高科。

　　不过，报道没有点名上海微电子，公司也没有公开确认。换句话说，张江高科今天的涨停，交易的仍然是一种猜测。

　　但这种猜测并非毫无基础。早在2025年12月底，中国政府采购网就曾披露过一则重磅公告：上海微电子以约1.1亿元的价格，成功中标一台 SSC800/10 步进扫描式光刻机。消息一出，张江高科盘中应声大涨超8%。

　　招投标文档显示，该设备要求分辨率不高于110纳米，套刻精度不高于15纳米。专家论证意见给出了极其关键的结论：在这一特定技术指标下，全中国仅有上海微电子一家具备研发与制造能力。

　　这笔亿元订单至少证明，上海微电子已经能够交付特定的前道步进扫描设备。

　　但理性看待，去年的SSC800/10，不能直接等同于此次传闻中的浸没式DUV。前者主要对应90纳米及以上工艺研发，后者的技术等级和产线要求都要高得多。

　　旧订单无法替新传闻作证，却让市场看到了上海微电子真实的设备能力。张江高科十年前买下的，也不只是一张依靠概念支撑的股权凭证。

　　由于上海微电子尚未上市，每当国产光刻机出现新消息，持有其近11%股权的张江高科，总会成为A股资金最先按下的那个按钮。

　　而要理解这笔股权为什么如此受追捧，还得回到2000年前后的上海。

　　上海押了20多年的“冷板凳”

　　在互联网狂飙突进、资本追逐快钱的年代，上海却把极为沉重的资源，押给了最烧钱、见效最慢的集成电路。

　　1999年，上海提出“聚焦张江”。此后，集成电路、软件和生物医药成为张江重点发展的产业，土地、资金、人才和相关企业随之向园区集中。

　　上海微电子便诞生在这轮布局中。

　　2002年，公司在张江成立。那时，全球高端光刻机市场已经被ASML、尼康和佳能占据。越往先进制程走，技术壁垒越高，留给后来者的空间越小。

　　光刻机的难点，也远不止把图案缩小后投到晶圆上。工作时，晶圆和掩模版要高速运动，设备还必须保持纳米级同步。光源、镜头、工件台、测量系统和控制软件中的任何一个环节出现误差，最后损失的都可能是整批晶圆。

　　对刚刚成立的上海微电子来说，直接挑战最先进设备并不现实。它选择了一条更为务实且极其考验定力的生存路径：以战养战。

　　公司决定从先进封装、LED及显示面板等商业化门槛相对较低的领域切入。这些设备虽无法与最顶尖的前道制造相提并论，却带来了源源不断的真实订单与造血能力，更帮团队打磨了精密运动控制、调焦调平、光学系统及整机集成的硬核底座。

　　凭借这套打法，上海微电子的破局节点依次展现：

　　2009年，首台先进封装光刻机问世；2013年，面向LED领域的步进光刻机交付；

　　2015年，高分辨率平板显示光刻机顺利出货；2016年，首台前道扫描光刻机交付；

　　2018年，90纳米前道光刻机项目正式通过验收；

　　2022年，中国首台2.5D/3D先进封装光刻机发运，成功打

　　入高性能计算与AI芯片的关键封测阵地。

　　上海微电子的发展路径并不轰动，甚至显得有些慢。它先在能够交付和赚钱的领域站稳脚跟，再一点点向晶圆制造最核心的“无人区”艰难蚕食。

　　这种长达二十年的耐心，极大地仰赖于张江独特的产业生态。

　　经过二十余年的深耕，张江已汇聚近700家集成电路企业，产业规模破2000亿元，贡献了上海的半壁江山与全国近两成的份额，构建起覆盖设计、制造、设备、材料与封测的完整闭环。

　　光刻机拥有数以万计的精密零件，它的迭代必须依赖真实的晶圆产线反复“喂养”和磨合。只有当供应商、设备商与晶圆厂在物理空间上足够近，工程师才能在最短时间内定位故障、迭代升级。

　　从这个角度看，张江高科2016年投向上海微电子的2.23亿元，并非一笔偶然押中热点的财务投资。

　　它更像张江产业生态自然长出来的一部分：园区搭建舞台，投资平台提供长效耐力。张江高科也在这个漫长的陪伴中，悄然完成了从“收租房东”到“产业股东”的蜕变。

　　十年磨一剑。如今一则国产浸没式DUV的传闻，让这笔长期躺在资产负债表里的沉寂股权，骤然被激动的资本市场聚光灯照亮。

　　只不过，股权价值可以在一天内被涨停板重新计算，光刻机的价值却只能在生产线上得到确认。

　　摆脱ASML还有多远

　　浸没式DUV虽不及EUV先进，却依然是芯片制造中的关键设备。

　　EUV凭借13.5纳米的极紫外光总揽最尖端制程，至今仍被ASML独家垄断；而DUV使用193纳米深紫外光，配合多重曝光等复杂工艺，同样拥有向更先进制程延伸的潜力。

　　对于中国晶圆厂来说，浸没式DUV的意义尤其特殊。

　　在EUV被全面封锁、高端DUV受限的背景下，国产浸没式DUV一旦通过产线验证，就意味着本土芯片产业终于在最卡脖子的环节上实现了从0到1的突破。

　　但目前双方的差距依然明显。

　　按照报道，国产设备今年计划生产约5台，2027年增加到20台。ASML在2025年共销售279台DUV设备，其中约131台为浸没式设备。

　　5台对131台，显然不在同一个量级。

　　报道同时提到，国产设备在性能、制造质量和可靠性上仍落后于ASML。即使交付中芯国际、华虹和长鑫科技，也要经过数月测试，才能判断是否具备进入生产线的资格。

　　商业晶圆厂从不为情怀埋单，决定采购的永远是商业账本。

　　它们要看一台设备每小时能够处理多少片晶圆，长时间运行会不会频繁故障，多次曝光能否保持套刻精度，零部件寿命有多长，维修速度够不够快。最终算下来，使用国产设备的良率和成本能不能被接受，才是最关键的指标。

　　因此，5台国产设备短期内很难抢走ASML多少订单，更谈不上撼动其在全球高端光刻机市场的地位。

　　那么，ASML的股价为何应声下挫？

　　资本市场恐慌的，显然不是今年少卖了5台设备，而是这个“0的突破”背后，意味着中国晶圆厂从此拥有了一个可以持续试错、磨合与演进的“第二选项”。

　　高端装备制造的规律极其残酷：不进产线，永无迭代。光刻机只有真正嵌入真实的生产线，才能源源不断地汲取工程师、供应商和晶圆厂联调的反馈数据。

　　第一代设备或许效率低下、稳定性不足，但只要能留下来，就拥有了提升良率、摊薄成本的希望。

　　ASML的领先优势不会因为5台设备消失。但在中国市场，它过去几乎没有对手的领域，可能开始出现裂缝。

　　张江高科已经用一个涨停，为那10.779%的股权给出了新定价。上海微电子要让这笔定价站得住，还得让晶圆厂愿意把昂贵的生产线和宝贵的良率交给一台国产设备。

　　5台之后能不能有20台，20台之后能不能变成持续订单，将决定这次突破最终能走多远。

　　国产光刻机走到今天，讨论也该从“能不能造”，推进到“能不能用、用了能不能赚钱”。

　　至少这一次，资本市场已经提前押注。

责任编辑：孙同怀