国盛证券:AI封装升级驱动 TGV产业链迎黄金发展期

智通财经
Sep 04

智通财经APP获悉,国盛证券发布研报称,CoWoS已成为高端AI芯片的重要封装方案,但仍存在产能不足、成本高、发热翘曲等问题。CPO等新兴应用亦有望拓展潜在应用空间。TGV打孔和孔内金属化是玻璃基板制造的两大核心技术难点。建议分三条主线关注:1)TGV精密加工,关注玻璃通孔加工及相关玻璃基板制造环节;2)核心设备卖铲人,重点关注TGV激光打孔、PVD种子层沉积、铜电镀、CMP等关键工艺设备;3)上游原片环节,关注具备玻璃原片研发、制造能力,并有望向半导体玻璃基板领域延伸的厂商。

国盛证券主要观点如下:

后摩尔时代,晶体管早已触及物理极限,CoWoS封装方面面临着产能不足、成本高、发热翘曲等问题

随着AI芯片性能持续提升,英伟达核心GPU由H100的4nm演进至VR200的3nm,晶体管数量、显存带宽和功耗不断提升,单纯依靠制程微缩已难以持续支撑性能增长,先进封装与Chiplet成为突破瓶颈的重要方向。当前2.5D、3D等先进封装路线并行发展,其中CoWoS已成为高端AI芯片的重要封装方案,但仍存在产能不足、光罩尺寸受限、大尺寸硅中介层成本及良率压力较高、ABF载板热膨胀系数失配导致翘曲等问题。

玻璃基板多重性能领先,为先进封装产业重要发展方向

相较有机基板、硅基中介层和陶瓷基板,玻璃基板具备低且可调的热膨胀系数、较优介电性能、高平整度以及大尺寸制造能力,可支持约2/2μm精细线路和约25μm Core Via,有望改善大尺寸封装中的翘曲、信号损耗及面积利用率问题。目前玻璃基板已形成CoPoS、Intel Glass-Core、CPO和玻璃桥等多种应用方式。据PMarketResearch,全球玻璃基板市场规模由2020年的71.2亿美元增长至2024年的90.3亿美元,预计2032年达到168.1亿美元。与此同时,CPO等新兴应用亦有望拓展潜在应用空间。

TGV打孔和孔内金属化是玻璃基板制造的两大核心技术难点

玻璃基板制造流程主要包括玻璃切割与清洗、TGV打孔、湿法刻蚀、光学检测、PVD种子层沉积、铜电镀、ABF压合增层等,其中TGV形成直接影响后续种子层沉积、金属化、填充和可靠性。目前TGV打孔主流方案为激光诱导改性+湿法化学蚀刻(LIDE),对应飞秒激光加工和湿法刻蚀设备;孔内金属化涉及种子层沉积和铜电镀,后续还需CMP实现表面平坦化。设备端,国内帝尔激光汇成真空盛美上海华海清科等厂商已在相关设备领域形成布局。

投资建议

建议分三条主线关注:1)TGV精密加工,关注玻璃通孔加工及相关玻璃基板制造环节;2)核心设备卖铲人,重点关注TGV激光打孔、PVD种子层沉积、铜电镀、CMP等关键工艺设备;3)上游原片环节,关注具备玻璃原片研发、制造能力,并有望向半导体玻璃基板领域延伸的厂商。相关标的建议关注:京东方TCL科技、深天马沃格光电;帝尔激光、大族激光华工科技英诺激光德龙激光海目星、华海清科、汇成真空、盛美上海、东威科技北方华创;天承科技彩虹股份凯盛科技等。

风险提示:研发不及预期风险,技术路线不确定性风险,第三方数据及信息准确性风险,宏观经济环境风险,贸易限制风险,行业竞争格局风险。

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